潔凈廠房施工及質量驗收規范
1、空氣潔凈度分級的檢測
C.1.1空氣潔凈度等級的測試
一般采用粒子計數器,采樣量應大于1L/min。測試粒徑大于等于0.5μm粒子時,宜采用光散射粒子計數器;測試粒徑大于等于0.1的粒子時,宜采用大流量激光粒子計數器(采樣量 每分鐘28.3L);測試粒徑小于0.1μm的超微粒子時,宜采用凝聚核激光粒子計數器。
C.1.2 采樣點確定
1 應按下式計算最少采樣點
(C.1.3)
式中——最少采樣點,四舍五入取整
——潔凈室(區)的面積。在水平單向流時,指與氣流方向垂直的流動空氣的截面積。以㎡計。
2 采樣點應均勻分布于潔凈室(區)的面積內,并位于工作區高度。
1、空氣潔凈度分級的檢測
C.1.3 每次采樣的最少采樣量應符合下列規定:
1、每個采樣點的每次采樣量(Vs)應按下式計算
式中:
Vmn —— 被測潔凈室(區)空氣潔凈度等級被測粒徑的允許限值(個/m3);
20 —— 在規定被測粒徑粒子的空氣潔凈度限值時,可檢測到的粒子數。
2 、每個采樣點的采樣量至少為2L,采樣時間最少為1min,當潔凈室(區)僅有1個采樣點時,則在該點至少采樣3次。
C.1.6 室內測試人員必須穿潔凈服,不得超過3人,應位于測試點下風側并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內潔凈度的干擾。
10.14 懸浮粒子計數的潔凈度分級測試─ISO 14644-3標準
進行懸浮粒子計數的潔凈度分級測試,是測定檢測時(空態、靜態、動態)時潔凈室設施中的實際粒子計數水平,關注粒徑、占用狀態、房間分級均在測試開始前已知,是按合同文件的規定業主/買方與NEBB認證的公司間的約定。
10.14.2.2 采樣位置
最小采樣點數量是:若采樣點數量為1,在該點要至少采樣3次。采樣點位置多于最小量將增加精度。計算最小采樣點數量是采用房間平方米面積的平方根,修約至最近的下一位整數。
式中:
SL = 最小采樣點數量,RA = 房間面積(平方米)。
10.14.2.4 采樣次數
最小采樣次數為3。一個位置的最小采樣次數為1。每個位置的采樣次數可多于1次。
10.14.2.5 每個位置的采樣流量
ISO分級房間每個采樣位置的單次采樣量
Vs = 采樣量(L)。
Cn,m =為相應等級所規定的最大關注粒徑的等級限值(粒子數量/m3)。
注:最小采樣量是2L,最小采樣時間是1分鐘。富臻建設專業各級別電子、食品、醫藥等場所潔凈室裝
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