中華人民共和國國家標準

潔凈廠房設計規范

Code for design of clean room

GB 50073-2013

主編部門：中華人民共和國工業和信息化部

批準部門：中華人民共和國住房和城鄉建設部

施行日期：2013年9月1日

中華人民共和國住房和城鄉建設部公告第1627號住房城鄉建設部關于發布國家標準《潔凈廠房設計規范》的公告

現批準《潔凈廠房設計規范》為國家標準，編號為GB 50073-2013，自2013年9月1日起實施。其中，第3.0.1(1、2、3)、4.2.3(1)、4.4.1、5.2.1、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.5、5.3.10、6.1.5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1.1(4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4.2(2、3)、8.4.3、9.2.2、9.2.5(1)、9.2.6、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.3、9.5.2、9.5.4、9.5.7條（款）為強制性條文，必須嚴格執行。原國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073-2001同時廢止。 

本規范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發行。

中華人民共和國住房和城鄉建設部

2013年1月28日

前言

本規范是根據原建設部《關于印發<2002-2003年度工程建設國家標準規范制訂、修訂計劃>的通知》（建標函〔2003〕102號）的要求，由中國電子工程設計院會同有關單位共同對《潔凈廠房設計規范》GB 50073-2001修訂而成。
本規范在修訂過程中，修訂組結合我國潔凈廠房設計建造和運行的實際情況，進行了廣泛的調查研究和測試，認真總結了《潔凈廠房設計規范》GB 50073-2001多年來實施的經驗，廣泛征求了全國有關單位的意見，最后經審查定稿。

本規范共9章和3個附錄，主要內容包括：總則、術語、空氣潔凈度等級、總體設計、建筑、空氣凈化、給水排水、工業管道、電氣等。

本規范主要的修訂技術內容是：修改了第2章術語；對第3章空氣潔凈度等級的相關內容作了修改和補充；修改了第8章，更名為“工業管道”；修改了部分“強制性條文”為“非強制性條文”。

本規范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執行。

本規范由住房和城鄉建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由工業和信息化部負責日常管理，由中國電子工程設計院負責具體技術內容的解釋。在本規范執行過程中如有意見或建議，請寄送中國電子工程設計院（地址：北京市海淀區萬壽路27號，郵政編碼：100840，傳真：010-68217842），以便今后修訂時參考。

本規范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：

主編單位：中國電子工程設計院

參編單位：信息產業部第十一設計研究院科技工程股份有限公司 中國石油化工集團上海醫藥工業設計院 中國建筑科學研究院

主要起草人：陳霖新 張利群 王唯國 繆德驊 晁陽 趙海 俞渭雄 周春海 秦學禮 譚易和 賀繼行 肖紅梅 樊勖昌 張彥國 黃德明 牛光宏 冷捷敏 馮佩明

主要審查人：涂光備 薛長立 王宗存 張洪雁 施紅平 李兆堅 葉鳴 孫志華 萬桐良

1 總則

1．0．1 為了使潔凈廠房設計符合節約能源、勞動衛生和環境保護的要求，做到技術先進、經濟適用、安全可靠，確保潔凈廠房設計質量，制定本規范。

1．0．2 本規范適用于新建、擴建和改建潔凈廠房的設計。

1．0．3 潔凈廠房設計應是施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行的基礎。

1．0．4 潔凈廠房設計除應符合本規范外，尚應符合國家現行有關標準的規定。

2 術語

2．0．1 潔凈室 clean room

空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留的粒子。室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。

2．0．2 潔凈區 clean zone

空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子?？臻g內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區可以是開放式或封閉式。

2．0．3 移動式潔凈小室 mobile clean booth

可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。

2．0．4 人身凈化用室 room for cleaning human body

人員在進入潔凈區之前按一定程序進行凈化的房間。

2．0．5 物料凈化用室 room for cleaning material

物料在進入潔凈區之前按一定程序進行凈化的房間。

2．0．6 粒徑 particle size

給定的粒徑測定儀所顯示的、與被測粒子的響應量相當的球形體直徑。

2．0．7 懸浮粒子 airborne particle

用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性。

2．0．8 超微粒子 ultrafine particle

具有當量直徑小于0.1μm的粒子。

2．0．9 微粒子 microparticle

具有當量直徑大于5μm的粒子。

2．0．10 粒徑分布 particle size distribution

粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數。

2．0．11 含塵濃度 particle concentration

單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。

2．0．12 潔凈度 cleanliness

以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數量來區分的潔凈程度。

2．0．13 氣流流型 air flow pattern

對室內空氣的流動形態和分布進行合理設計。

2．0．14 單向流 unidirectional airflow

通過潔凈室（區）整個斷面的風速穩定、大致平行的受控氣流。

2．0．15 垂直單向流 vertical unidirectional flow

與水平面垂直的單向流。

2．0．16 水平單向流 horizontal unidirectional flow

與水平面平行的單向流。

2．0．17 非單向流 non-unidirectional flow

送入潔凈室（區）的送風以誘導方式與室（區）內空氣混合的氣流分布類型。

2．0．18 混合流 mixed airflow

單向流和非單向流組合的氣流。

2．0．19 潔凈工作區 clean working area

除工藝特殊要求外，指潔凈室內離地面高度0.8m～1.5m的區域。

2．0．20 空氣吹淋室 air shower

利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。

2．0．21 氣閘室 air lock

設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。

2．0．22 傳遞窗 pass box

在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。

2．0．23 潔凈工作臺 clean bench

能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。

2．0．24 潔凈工作服 clean working garment

為把工作人員產生的粒子限制在最小程度所使用的發塵量少的潔凈服裝。

2．0．25 空態 as-built

設施已經建成，其服務動力公用設施區接通并運行，但無生產設備、材料及人員的狀態。

2．0．26 靜態 at-rest

設施已經建成，生產設備已經安裝好，并按供需雙方商定的狀態運行，但無生產人員的狀態。

2．0．27 動態 operational

設施以規定的方式運行，有規定的人員在場，并在商定的狀態下進行工作。

2．0．28 已裝過濾器檢漏 installed filter system leakage test

為確認過濾器安裝良好、沒有向潔凈室（區）的旁路滲漏，過濾器及其框架均無缺陷和滲漏所做的檢測。

2．0．29 高效空氣過濾器 high efficiency particulate air filter (HEPA)

在額定風量下，對粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9％以上的空氣過濾器。

2．0．30 超高效空氣過濾器 ultra low penetration air filter (ULPA)

在額定風量下，對粒徑0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999％以上的空氣過濾器。

2．0．31 純水 purity water

對電解質雜質含量和非電解質雜質含量均有要求的水。

2．0．32 防靜電環境 antistatic environment

能防止靜電危害的特定環境，在這一環境中不易產生靜電，靜電產生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。

2．0．33 表面電阻 surface resistance

在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩態電流之商。

2．0．34 體積電阻 volume resistance

在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩態電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。

2．0．35 表面電阻率 surface resistivity

在材料表面層的直流電場強度與穩態電流線密度之商。

2．0．36 體積電阻率 volume resistivity

在材料內層的直流電場強度與穩態電流密度之商。

2．0．37 專用消防口 fire-fight access

消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。

2．0．38 自凈時間 recovery time of cleanliness

潔凈室被污染后，凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級所需的時間。

2．0．39 生物潔凈室 biological clean room

潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規定值內的限定空間。

2．0．40 浮游菌 airborne viable bacteria

懸浮在空氣中的帶菌微粒。

2．0．41 沉降菌 settlemen bacteria

降落在培養皿上的帶菌微粒。

2．0．42 U描述符 U descriptor

每立方米空氣中包括超微粒子的實測或規定濃度。U描述符不能規定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。

2．0．43 M描述符 M descriptor

每立方米空氣中實測的或規定的微粒子。M描述符不能規定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。

2．0．44 工業管道 industrial pipe

潔凈廠房內，除給水排水管道和凈化空調、采暖通風管道外的氣體、液體管道，統稱為工業管道。

3 空氣潔凈度等級

3．0．1 潔凈室及潔凈區內空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應符合下列規定：

1 潔凈室及潔凈區空氣潔凈度整數等級應按表3．0．1確定。

表3．0．1 潔凈室及潔凈區空氣潔凈度整數等級

注：按不同的測量方法，各等級水平的濃度數據的有效數字不應超過3位。

2 各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應按下式計算：

式中：

Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數，有效位數不超過三位數；

N——空氣潔凈度等級，數字不超過9，潔凈度等級整數之間的中間數可以按0.1為最小允許遞增量；

D——要求的粒徑（μm）；

0.1——常數，其量綱為μm。

3 當工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。

4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。

3．0．2 空氣潔凈度等級所處狀態包括空態、靜態、動態，空氣潔凈度等級所處狀態應與業主協商確定。

3．0．3 空氣潔凈度的測試方法應按本規范附錄A的要求進行。

3．0．4 當潔凈室（區）內的產品生產工藝要求控制微生物、化學污染物時，應根據工藝特點對各空氣潔凈度等級規定相應的微生物、化學污染物濃度限值。

廣東富臻建設所從事食品、醫藥、微電子等行業潔凈裝修，嚴格按照國家標準規范實施，收費評估造價均按照標準核算。對質量是非常有保障